非接觸式高精度激光測振儀(yi) 可以通過顯微光學係統實現對微小物體(ti) 的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，並可通過顯微成像係統實時觀察物體(ti) 的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。

高精度激光測振儀(yi) 可以通過顯微光學係統實現對微小物體(ti) 的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，並可通過顯微成像係統實時觀察物體(ti) 的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。

掃描式激光測振儀(yi) LV-SC400通過在單點激光測振儀(yi) 前麵加兩(liang) 個(ge) 掃描鏡，運動控製係統控製掃描鏡的偏轉角度，來實現X、Y方向上的掃描測振；配備攝像係統，可實現人機互動，配備軟件分析係統，可實現二維、三維動畫顯示及數據分析等。